[부스터 진공 배기 시스템]
일체형 진공 배기 시스템은 오일 로터리 진공펌프 GHP-1300과 부스터 진공펌프 KBP-600으로 구성
 
용도
; 헬륨 디텍터 검사 장치의 진공 배기장치
빠른 시간에 고진공을 만들기 위한 진공장치
10-3 TORR의 진공도를 유지하기 위한 고진공 시스템
 
세부설명
진공 압력의 정확도를 위하여 두 대의 진공 게이지로 진공 압력을 체크합니다.
진공 센서도 항상 두 개를 동시에 사용할 수 있는 테스트 포트를 만들었습니다. (정확도가 높아집니다.)
보통 헬륨 디텍터의 진공 배기장치 오일 로터리 진공펌프는 용량이 1,000 - 1,500리터 정도를 많이 사용합니다.