대용량의 진공 배기 시스템을 소개할게요.
중고 진공펌프로 조합이 된 상태랍니다.
한국진공에서 제작된 제품이랍니다.
오일 로터리 베인 타입의 DRP-6000 모델 진공펌프랍니다.
펌핑 스피드는 6,000리터/분이고, 진공 압력은 10-3TORR 영역이랍니다.
모터는 10마력이랍니다.
부스터 진공펌프 모델은 MBP-2700랍니다.
펌핑 스피드는 약 40,000리터/분이고, 10마력의 모터를 사용한답니다.
보통 이렇게 조합을 하여 급속 배기장치로 많이 사용한답니다.
진공증착장치나 진공열처리 장비 등에 많이 적용된답니다.
최근에는 LNG 탱크의 진공 배기장치로도 많이 적용하고 있답니다.
DRP-6000과 MBP-2700모델은 냉각수를 사용하는 수냉식 냉각방식 시스템이랍니다.
진공펌프의 과열을 방지하고, 안정적인 진공 압력을 유지하기 위해서는 냉각수를 넣어 주어야 한답니다.
이 제품은 고객사에서 단기로 일주일 정도 렌털을 하기로 해서 출고 전에 테스트를 하고 있는 상태랍니다.
내일은 고객사에 출고를 해서 약 일주일 후 저희 업체로 재입고가 된답니다.
로터리 진공펌프의 진공도가 10-2TORR 정도 나오고, 부스터 진공펌프와 조합을 하여 가동되니 10-3TORR 영역은 무난하답니다.