[헬륨 누설 검사 방법]
▶ 헬륨 누설 검사의 일반 원칙은
헬륨을 시험 용기의 한쪽에서 분사→ 시험 용기의 다른 쪽에서 헬륨을 수집→ 질량분석기를 이용하여 수집된 헬륨의 양을 측정합니다.

▶ 주요 누설 검사 방법은 진공법, 가압법, 배압법입니니다.
가장 좋은 누설 검사 방법은 검사할 부품이 실제로 사용 되는 작업환경과 동일한 조건 하에서 검사하는 것입니다. 
누설 검사 방법 중 진공법은 검사해야 할 제품의 내부를 적절한 진공상태로 만들어 누설을 검사하는 방법입니다.
누설이 의심스러운 곳에 헬륨을 분사 시켜서 진공 상태가 된 제품의 내부로 헬륨이 유입되게 하여 누설을 검사하는 방법이랍니다.
 
 
 
[헬륨 리크 디텍타 일반적인 응용분야]
반도체 및 평면 패널 디스플레이 공구에서 사용되는 부품
서브어셈블리 및 대형 챔버의 누출 검사
반도체 및 평면 패널의 누출 검사
항공 우주 부품, 서브어셈블리 및 시스템의 누출 검사
저장 용기/저장 탱크의 누출 검사 등

헬륨 리크 테스트 시스템의 정밀도는 에어 리크 테스트 방식으로 실제 생산 설비 적용 가능한 측정 정밀도인 0.1 ~ 1.0 Std cm³/min 에서부터 시작됩니다. 
양산 라인에서 상대적으로 짧은 사이클 타임으로 10-6 Torr Ltr/sec 정도의 리크랑은 쉽게 검출이 가능합니다.

(참고* 가격이 만만치 않습니다. 계측기만 해도 고정밀도를 요하는 것이면 삼천만원에서 삼천오백만 원 선입니다.)
 
 
[헬륨 리크 디텍타 시스템 제작]
모든진공은 진공 관련 시스템을 제작 수리 판매를 하고 있답니다. 위의 사진들은 지난주 제작되어 출고된 헬륨 리크 디텍타 시스템 사진들입니다.
이 제품은 일본 시마츠사의 제품입니다. 패널에 한글로 작동상태와 조작 방법 등을 표시해줘서 초보 작업자들이 사용하기 편리합니다.
무선용 태블릿피시로 리크 테스트할 때 여러 장소에서 간편하게 테스트를 할 수 있습니다.
조작을 태블릿피시에서 직접 할 수 있으니, 보다 정밀하게 점검할 수 있습니다.
정말 사용하기 편합니다.